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, PP. 25-27
Keywords: 化学气相沉积,ZnS块材料,厚度均匀性,球状生长
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本文以H2S与Zn为原料,通过化学气相沉积制备了ZnS块材料.分析了ZnS的沉积过程机理,研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和H2S、Zn蒸汽、载气Ar流量对ZnS厚度均匀性的影响规律,提出了改善ZnS厚度均匀性、抑制沉积表面球状物生长的途径.
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