%0 Journal Article
%T 化学气相沉积ZnS块材料的均匀性
%A 憨勇
%A 郑修麟
%A 刘正堂
%J 材料工程
%P 25-27
%D 1996
%X 本文以H2S与Zn为原料,通过化学气相沉积制备了ZnS块材料.分析了ZnS的沉积过程机理,研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和H2S、Zn蒸汽、载气Ar流量对ZnS厚度均匀性的影响规律,提出了改善ZnS厚度均匀性、抑制沉积表面球状物生长的途径.
%K 化学气相沉积
%K ZnS块材料
%K 厚度均匀性
%K 球状生长
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y1996/V0/I12/25