电磁场氮分压等对多弧离子镀TiN的影响

本文在不同工艺条件下,利用扫描电镜,X射线衍射仪,M-200磨损试验机以及显微硬度计等,对多弧离子镀TiN涂层的表面形貌组织结构以及性能进行了分析研究,揭示了电磁场氮分压对TiN镀层的综合影响。