TiO2薄膜型气体传感器研究进展

综述了国内外TiO2气体传感器的发展状况、工作原理以及不同类型的TiO2传感器。徽电子加工技术和薄膜技术的引人,为实现气体传感器小型化、集成化、高灵敏度化提供了重要手段。