%0 Journal Article
%T TiO2薄膜型气体传感器研究进展
%A 姜涛
%A 吴一平
%A 陈建国
%A 胡一帆
%A 孙培祯
%J 材料工程
%D 1996
%X 综述了国内外TiO2气体传感器的发展状况、工作原理以及不同类型的TiO2传感器。徽电子加工技术和薄膜技术的引人,为实现气体传感器小型化、集成化、高灵敏度化提供了重要手段。
%K TiO2
%K 气体传感器
%K 薄膜
%K 掺杂
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y1996/V0/I5/24