OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元

投递稿件

查看量	下载量

利用射频磁控溅射制作高性能铁磁性薄膜的研究

, PP. 31-33

Full-Text Cite this paper Add to My Lib

Abstract:

讨论了用射频(RF)磁控溅射制作铁磁性薄膜工艺,合适的工艺参数能够获得较低的矫顽力Hc=6Oe.用X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)研究膜表面情况及氧化深度。

References

[1]	1 M.N.baibich et al.Phys.Rev.Lett.1990,64:23042 蔡建旺等.物理学进展。1997,17(2)3 E.Fullert on et al.Appl.Phys.Lett.1993,63:16994 T.Miyazeki et al.J.M.M.M.1995,139:2315 X.Lin et al.J.Appl.Phys.1994,76:6543

Contact Us

service@oalib.com

WhatsApp +8615387084133