%0 Journal Article
%T 利用射频磁控溅射制作高性能铁磁性薄膜的研究
%A 夏洋
%A 于广华
%A 朱逢吾
%A 肖纪美
%A 方光旦
%A 宋庆山
%A 熊鑫恩
%J 材料工程
%P 31-33
%D 1998
%X 讨论了用射频(RF)磁控溅射制作铁磁性薄膜工艺,合适的工艺参数能够获得较低的矫顽力Hc=6Oe.用X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)研究膜表面情况及氧化深度。
%K 巨磁电阻
%K 薄膜
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y1998/V0/I5/31