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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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声光调QNd:YAG激光对硅划片的研究
, PP. 45-48
Keywords: 激光划片,硅片,能量密度阈值
Abstract:
研究了利用调QNdYAG激光对硅片的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与工艺参数之间的关系。还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,推导了激光束使材料发生熔化和汽化时的能量密度阈值。
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