%0 Journal Article
%T 声光调QNd:YAG激光对硅划片的研究
%A 齐军
%A 王昆林
%A 梁绵长
%A 朱允明
%J 材料工程
%P 45-48
%D 1999
%X 研究了利用调QNdYAG激光对硅片的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与工艺参数之间的关系。还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,推导了激光束使材料发生熔化和汽化时的能量密度阈值。
%K 激光划片
%K 硅片
%K 能量密度阈值
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y1999/V0/I3/45