SiC晶须形貌质量检测标准

本文首次提出碳化硅晶须的形貌质量检测标准,该标准包括晶须的长度、直径、长径比及晶须的表面光洁率、晶须直晶率、晶须中颗粒物含量几个方面的检测,并已在1993年2月被国家“863”高技术结构材料专家组认定,做为我国SiC晶须产品形貌质量的检测标准。