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暨南大学学报(自然科学与医学版) 2014
Ｓｉ薄膜在预结构基底上生长的动力学蒙特卡罗模拟DOI: 10.11778/j.jdxb.2014.02.018, PP. 201-204 Keywords: Ｓｉ雕塑薄膜,动力学蒙特卡罗方法,波浪形预结构 Abstract: 通过引入周期性排列波浪形预结构基底，建立了Ｓｉ薄膜生长的三维动力学ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模型．利用该模型在此基底上分别正常沉积和倾斜沉积Ｓｉ薄膜，研究薄膜在不同沉积条件下的生长过程及其内在的生长规律．通过计算机模拟，论证了在正常沉积条件下薄膜呈均匀生长模式，而在大角度倾斜沉积条件下，薄膜生长呈各向异性非均匀生长模式．
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