%0 Journal Article
%T Ｓｉ薄膜在预结构基底上生长的动力学蒙特卡罗模拟
%A 陈书汉
%A 卜寿亮
%J 暨南大学学报(自然科学与医学版)
%P 201-204
%D 2014
%R 10.11778/j.jdxb.2014.02.018
%X 通过引入周期性排列波浪形预结构基底，建立了Ｓｉ薄膜生长的三维动力学ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模型．利用该模型在此基底上分别正常沉积和倾斜沉积Ｓｉ薄膜，研究薄膜在不同沉积条件下的生长过程及其内在的生长规律．通过计算机模拟，论证了在正常沉积条件下薄膜呈均匀生长模式，而在大角度倾斜沉积条件下，薄膜生长呈各向异性非均匀生长模式．
%K Ｓｉ雕塑薄膜
%K 动力学蒙特卡罗方法
%K 波浪形预结构
%U http://jnxb.jnu.edu.cn/zrb/CN/abstract/abstract519.shtml