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, PP. 61-64
Keywords: 椭偏光谱仪,类金刚石薄膜,sp3/sp2,多样品分析法
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应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品,讨论了样品制备与测量、模型的建立及多样品分析法和椭偏数据拟合,表明椭偏光谱法可以确定DLC膜的厚度,并可反映出sp3成份百分比变化与制备时偏置电压的关系.更多还原
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