%0 Journal Article
%T 椭偏谱法测量类金刚石薄膜的质量
%A 杜泉
%A 邓学儒
%A 郭文胜
%J 四川师范大学学报(自然科学版)
%P 61-64
%D 2005
%X 应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品,讨论了样品制备与测量、模型的建立及多样品分析法和椭偏数据拟合,表明椭偏光谱法可以确定DLC膜的厚度,并可反映出sp3成份百分比变化与制备时偏置电压的关系.更多还原
%K 椭偏光谱仪
%K 类金刚石薄膜
%K sp3/sp2
%K 多样品分析法
%U http://jsnu.paperopen.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200506016