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华南师范大学学报(自然科学版) 2015
大面积光刻胶线棒涂布工艺研究DOI: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015, PP. 84-89 Keywords: 线棒涂布法,大面积涂布,高粘度,光刻胶,涂布工艺 Abstract: 介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究，结果表明，膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚，涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性，硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜，而垫板高度在某一范围内对膜厚无影响.与常用旋涂法相比，线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点.
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