%0 Journal Article
%T 大面积光刻胶线棒涂布工艺研究
%A 韦必明
%A 金名亮
%A 吴昊
%A 窦盈莹
%A 周国富
%A 水玲玲*
%J 华南师范大学学报(自然科学版)
%P 84-89
%D 2015
%R 10.6054/j.jscnun.2014.12.015
%X 介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究，结果表明，膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚，涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性，硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜，而垫板高度在某一范围内对膜厚无影响.与常用旋涂法相比，线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点.
%K 线棒涂布法
%K 大面积涂布
%K 高粘度
%K 光刻胶
%K 涂布工艺
%U http://journal.scnu.edu.cn:8080/jwk_xbzrb/CN/abstract/abstract3452.shtml