等离子体渗氮流量控制系统的研究

针对等离子体渗氮工艺过程中存在的转子流量计测量不准、调节精度低、质量流量控制器价格高、电磁阀失效等问题，设计了一种新的等离子体渗氮流量控制系统，该系统具有精度高、响应快、性能稳定、价格低的特点。