%0 Journal Article
%T 等离子体渗氮流量控制系统的研究
%A 郑芙蓉
%A 孙奉娄
%A 危立辉
%J 中南民族大学学报(自然科学版)
%P 40-42
%D 2003
%X 针对等离子体渗氮工艺过程中存在的转子流量计测量不准、调节精度低、质量流量控制器价格高、电磁阀失效等问题，设计了一种新的等离子体渗氮流量控制系统，该系统具有精度高、响应快、性能稳定、价格低的特点。
%K 等离子体渗氮流量控制高速真空电磁阀转子流量计
%U http://znzk.scuec.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20030377&flag=1