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ISSN: 2333-9721
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硼掺杂量对P型a-Si:H膜微结构和光/电学性能的影响

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Abstract:

采用等离子体增强化学气相沉积法制备了不同硼掺杂比的P型a-SiH系列薄膜。研究了硼掺杂比对P型a-SiH薄膜微结构和光/电学性能的影响;同时,对最优掺杂比下的P型a-SiH薄膜进行了真空退火处理,以研究薄膜晶体结构的改变对其光/电学性能的影响。结果表明随着硼掺杂比的增加,P型a-SiH薄膜的非晶结构没有实质改变,但其光学带隙及电学性能均有明显变化,总结出最佳硼掺杂比为1.0%。经真空退火处理后,P型a-SiH薄膜的有序程度明显提高,光学带隙从1.81eV降低到1.72eV,电导率提高3个数量级。薄膜的晶体结构比硼掺杂量对薄膜电学性能的改善更为显著。

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