一种高压大电流半导体放电管的研究

针对常规半导体放电管在超大浪涌电流作用下，易局部过热而损坏这一问题，采用镓闭管扩散代替硼扩散、台面工艺解决二氧化硅不能掩蔽镓扩散所带来的问题、玻璃钝化工艺实现高压结面保护等方法。实验结果表明，通过镓扩散、台面刻槽、玻璃钝化和钛镍银多层金属化等工艺，提高了放电管的启动保护电压和最大浪涌电流，其最大浪涌电流达到6kA，比设计值5kA提高了20%。