%0 Journal Article
%T 一种高压大电流半导体放电管的研究
%A 唐政维
%A 向导
%A 张盼盼
%J 重庆邮电大学学报(自然科学版)
%D 2013
%X 针对常规半导体放电管在超大浪涌电流作用下，易局部过热而损坏这一问题，采用镓闭管扩散代替硼扩散、台面工艺解决二氧化硅不能掩蔽镓扩散所带来的问题、玻璃钝化工艺实现高压结面保护等方法。实验结果表明，通过镓扩散、台面刻槽、玻璃钝化和钛镍银多层金属化等工艺，提高了放电管的启动保护电压和最大浪涌电流，其最大浪涌电流达到6kA，比设计值5kA提高了20%。
%K 高压大电流
%K 半导体放电管
%K 镓扩散
%K 台面工艺
%K 玻璃钝化
%U http://journal.cqupt.edu.cn/jcuptnse/jcuptnse/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20130513&flag=1