一种用于MEMS动态测量的最优盒计数分形维数算法

在微机电系统（microelectromechanicalsystem，MEMS）的动态测量中，利用分形插值法可以提高MEMS器件面内位移测量的精度，利用图像边缘的分形特征，还可以实现离面位移和旋转角度的测试。而分形维数（fractaldimension）的计算又是这些方法的关键。在研究目前最常用的分形维数计算方法差分盒计数法（differenceboxcounting,DBC）的基础上，提出了一种对“空盒子”不予计数的最优盒计数分形维数算法，克服了差分盒计数法存在“空盒子”被计数的缺陷。理论分析和实验结果表明，该算法获得的分形维数更接近于理论维数。