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ISSN: 2333-9721
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化工进展  2013 

高纯砷制备研究进展及趋势

, PP. 2929-2933

Keywords: 高纯砷,半导体材料,还原,蒸馏,热解

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Abstract:

阐述了高纯砷的制备技术、生产现状、研究进展及趋势。通过回顾液相氯化-氢还原、气相氯化-氢还原、升华蒸馏及热分解等主要制备高纯砷的研究进展,分析各种制备方法的特点和优劣,对高纯砷制备技术的发展趋势进行展望。结果表明,目前制备高纯砷的主要方法为升华蒸馏法和氯化还原,升华蒸馏法尽管流程短,但存在铅、锑等杂质易污染产品的缺陷,氯化还原法存在氯化氢对设备腐蚀及环境污染的问题;硫化砷氢还原法和As(OR)3热分解法制备过程中无废液、废气和废弃物产生,环境友好,是今后制备高纯的可取方法。

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