%0 Journal Article
%T 高纯砷制备研究进展及趋势
%A 彭志强
%A 廖亚龙
%A 周娟
%J 化工进展
%P 2929-2933
%D 2013
%X 阐述了高纯砷的制备技术、生产现状、研究进展及趋势。通过回顾液相氯化-氢还原、气相氯化-氢还原、升华蒸馏及热分解等主要制备高纯砷的研究进展，分析各种制备方法的特点和优劣，对高纯砷制备技术的发展趋势进行展望。结果表明，目前制备高纯砷的主要方法为升华蒸馏法和氯化还原，升华蒸馏法尽管流程短，但存在铅、锑等杂质易污染产品的缺陷，氯化还原法存在氯化氢对设备腐蚀及环境污染的问题；硫化砷氢还原法和As(OR)3热分解法制备过程中无废液、废气和废弃物产生，环境友好，是今后制备高纯的可取方法。
%K 高纯砷
%K 半导体材料
%K 还原
%K 蒸馏
%K 热解
%U http://www.hgjz.com.cn/CN/abstract/abstract15347.shtml