具有并行加工模块的组合设备故障响应策略

为了有效响应组合设备加工模块常出现的故障，通过分析单臂组合设备的并行模块及其加工流程模式，以及严格的逗留时间约束的晶圆加工过程，建立了Petri网模型，该模型能够描述系统的暂态特性和稳态特性。基于该模型，当并行模块中一个模块出现故障时，分析系统的可调度性，对可调度情况能够提出有效的运行控制策略，使得系统的晶圆不违反逗留时间约束。最后通过实例验证了该控制策略的可行性。