%0 Journal Article
%T 具有并行加工模块的组合设备故障响应策略
%A 潘春荣
%A 伍乃骐
%J 计算机集成制造系统
%P 0-0
%D 2010
%X 为了有效响应组合设备加工模块常出现的故障，通过分析单臂组合设备的并行模块及其加工流程模式，以及严格的逗留时间约束的晶圆加工过程，建立了Petri网模型，该模型能够描述系统的暂态特性和稳态特性。基于该模型，当并行模块中一个模块出现故障时，分析系统的可调度性，对可调度情况能够提出有效的运行控制策略，使得系统的晶圆不违反逗留时间约束。最后通过实例验证了该控制策略的可行性。
%K 组合设备
%K 故障响应
%K Petri网
%K 晶圆制造
%U http://www.cims-journal.cn/CN/abstract/abstract2636.shtml