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ISSN: 2333-9721
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金属学报  2004 

晶粒尺寸与保载载荷对Cu膜纳米压入蠕变性能的影响

, PP. 1032-1036

Keywords: 纳米压入,蠕变,晶粒尺寸,应力指数

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Abstract:

利用纳米压入仪对Si片上的多晶Cu膜进行压入蠕变研究。实验结果显示晶粒尺寸大于200nm时,应力指数对晶粒尺寸不敏感。当晶粒尺寸小于200nm时,因压头底部更多的晶粒参与变形,应力指数随晶粒尺寸的降低而增大.认为薄膜材料存在一个对应力指数不敏感的最小临界晶粒尺寸lc。Cu膜的应力指数随保载载荷增大而增大,其主要原因在于高载荷下位错强化机制使蠕变率降低。

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