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ISSN: 2333-9721
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金属学报  1987 

Seemann-BohlinX射线薄膜衍射装置的强度分析

, PP. 486-491

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Abstract:

研制了无前单色器Seemann-Bohlin掠射聚焦装置,并对Seemann-Bohlin法的衍射强度公式进行了讨论.计算表明1.此装置测定表面层及薄膜的衍射强度约为普通衍射仪法的7—20倍。用1kW的X射线源即可快速测得7nm金膜的2θ<120.的衍射线.2.厚样品的衍射强度也可达一般衍射仪法的3—20倍.实验证实了这个结果.

References

[1]  1 Rigaku Corporation. The Rigaku Journal, 1984; 1 (2) : 22
[2]  2 Mack M, Parrish W. Acta Crystallogr, 1967: 23: 693
[3]  3 范雄.X射线金属学,机械工业出版社,1981:51

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