%0 Journal Article %T Seemann-BohlinX射线薄膜衍射装置的强度分析 %A 陶琨 %A 董志力 %A 陈顺英 %A 王并举 %J 金属学报 %P 486-491 %D 1987 %X 研制了无前单色器Seemann-Bohlin掠射聚焦装置,并对Seemann-Bohlin法的衍射强度公式进行了讨论.计算表明1.此装置测定表面层及薄膜的衍射强度约为普通衍射仪法的7—20倍。用1kW的X射线源即可快速测得7nm金膜的2θ<120.的衍射线.2.厚样品的衍射强度也可达一般衍射仪法的3—20倍.实验证实了这个结果. %U http://www.ams.org.cn/CN/Y1987/V23/I5/486