对向靶溅射TiN薄膜的结构和物性
, PP. 31-34
Keywords: ＴｉＮ薄膜,对向靶溅射,织构系数
Abstract:
利用对向靶溅射（ＦＴＳ）沉积出（１１１）择优取向的单相ＴｉＮ膜，膜硬度（ＨＶ）最高可达３８００，择优取向随基板偏压增高，可由（１１１）转向（２００），晶格常数随氮气分压增高而增大，这是氮原子进入四面体间隙引起的。
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