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ISSN: 2333-9721
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金属学报  1992 

精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度和界面结合强度

, PP. 91-94

Keywords: TiN薄膜,抗拉强度,结合强度

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Abstract:

采用声发射监测悬臂梁弯曲实验法测量并计算出HCD离子镀法制备的精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度,及其与钛基材界面抗剪切强度(结合强度)值分别是603MPa,242MPa。

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