%0 Journal Article
%T 精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度和界面结合强度
%A 刘长清
%A 李美栓
%A 金柱京
%A 吴维(山文)
%J 金属学报
%P 91-94
%D 1992
%X 采用声发射监测悬臂梁弯曲实验法测量并计算出HCD离子镀法制备的精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度,及其与钛基材界面抗剪切强度(结合强度)值分别是603MPa,242MPa。
%K TiN薄膜
%K 抗拉强度
%K 结合强度
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1992/V28/I9/91