离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性
, PP. 323-326
Keywords: 离子束辅助沉积,ＴｉＮ膜,滑动摩擦
Abstract:
用ＸＰＳ，ＡＥＳ和ＸＲＤ分析厚约２μｍ离子束辅助沉积ＴｉＮ膜的成分和结构．实验表明膜的表面成分主要是ＴｉＯ_２，膜内是轻微择优取向晶粒较细的ＴｉＮ．膜与衬底的界面存在混合区，用阶梯加载法测定润滑条件下ＧＣｒ１５钢与ＴｉＮ膜对磨时的临界载荷－速度关系．试验发现ＴｉＮ膜可显著扩大边界润滑区，承受较大载荷而不致发生擦伤．
| [1] | 1KantRA,SartwellBD．MaterSciEng,1987;90:3572ItoH,YoshidaY,YamajS,MaeyamaY,InaT,MinowaY．NuclInstrtumMethodsPhysRes,1989;B39:1743SmidtFA．IntMaterRev,1990;35:614LiuXianghua,XueBin,ZhengZhihong,ZhouZuyao,ZouShichang．NuclInstrumMethPhysRes,1989;B39:1855刘捍卫．西南交通大学硕士学位论文,1992
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