%0 Journal Article
%T 离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性
%A 刘捍卫
%A 陈元儒
%A 张绪寿
%J 金属学报
%P 323-326
%D 1994
%X 用ＸＰＳ，ＡＥＳ和ＸＲＤ分析厚约２μｍ离子束辅助沉积ＴｉＮ膜的成分和结构．实验表明膜的表面成分主要是ＴｉＯ_２，膜内是轻微择优取向晶粒较细的ＴｉＮ．膜与衬底的界面存在混合区，用阶梯加载法测定润滑条件下ＧＣｒ１５钢与ＴｉＮ膜对磨时的临界载荷－速度关系．试验发现ＴｉＮ膜可显著扩大边界润滑区，承受较大载荷而不致发生擦伤．
%K 离子束辅助沉积
%K ＴｉＮ膜
%K 滑动摩擦
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1994/V30/I19/323