CH_4离子束增强沉积对TiC薄膜显微硬度的影响机制
, PP. 318-322
Keywords: ＴｉＣ薄膜,离子束增强沉积,硬度
Abstract:
研究了双离子束沉积ＴｉＣ薄膜的形成．离子束反应溅射膜的显微硬度比ＣＨ_４高子束增强沉积膜的显微硬度高．ＸＰＳ，ＴＥＭ和ＡＥＳ分析表明后者硬度低的一个重要原因是ＣＨ_４离子束轰击引入过量的自由碳原子．
| [1] | 1MinZhang,LiWenzhi,LiHengde．In:HuangLed．,ThinFilmsandBeam-SolidInteractions．Amsterdam．Elsevier,1991:3462虞觉奇,易文质,陈邦迪,陈宏鉴编译．二元合金状态图集．上海:上海科学技术出版社,1987:2523OguriK,AraiT．ThinSolidFilms．1990;186:L29
|
Full-Text
