%0 Journal Article
%T CH_4离子束增强沉积对TiC薄膜显微硬度的影响机制
%A 刘长洪
%A 李文治
%A 李恒德
%J 金属学报
%P 318-322
%D 1994
%X 研究了双离子束沉积ＴｉＣ薄膜的形成．离子束反应溅射膜的显微硬度比ＣＨ_４高子束增强沉积膜的显微硬度高．ＸＰＳ，ＴＥＭ和ＡＥＳ分析表明后者硬度低的一个重要原因是ＣＨ_４离子束轰击引入过量的自由碳原子．
%K ＴｉＣ薄膜
%K 离子束增强沉积
%K 硬度
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y1994/V30/I19/318