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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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压入深度与膜厚对薄膜与基体复合硬度及弹性模量的影响
, PP. 23-28
Keywords: 薄膜,硬度,弹性模量
Abstract:
根据高华建的复合弹性模量模型，提出了用一个测点的载荷－位移曲线计算整个压入深度内薄膜和基体复会硬度分布的方法，探讨了压入深度与膜厚对硬度与弹性模量测量值的影响，指出可由膜－基复合性能反推膜本身的性能．
| [1] | 1闻立时,黄荣芳．见:中国材料研究学会编,92′秋季中国材料研讨会论文集,广州,1992:1092BhttacharyaAK,NixWD．IntJSolidStruct．1988;24:12873KingRB．IntJSolidStruct,1987;23:16574GaoHJ,ChiuCH,LeeJ．IntJSolidStruct,1992;29:24715BurnettPJ,RickerbyDS．ThinSolidFilms,1987;148:416侯根良,刘军海,徐可为．金属学报,1995;31:A2367HendrixBC,刘军海,何家文．见:中国电子学会编,第五届全国固体薄膜研讨会论文集,北京,1994:2038NixWD．MetallTrans,1989;20A:22179蔡洵,张兮,周平南．理化检验-物理分册,1993;29(4):1910FleckNA,MullerGW,AshbyMF,HutchinsonJW．ActaMetallMater,1994;42:47511OliverWC,PharrGM．JMaterRes,1992;7(6):1564
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