%0 Journal Article %T 压入深度与膜厚对薄膜与基体复合硬度及弹性模量的影响 %A 徐可为 %A 候根良 %A 于光 %A 陈国良 %A 刘丹梅 %J 金属学报 %P 23-28 %D 1996 %X 根据高华建的复合弹性模量模型,提出了用一个测点的载荷-位移曲线计算整个压入深度内薄膜和基体复会硬度分布的方法,探讨了压入深度与膜厚对硬度与弹性模量测量值的影响,指出可由膜-基复合性能反推膜本身的性能. %K 薄膜 %K 硬度 %K 弹性模量 %U http://www.ams.org.cn/CN/Y1996/V32/I1/23