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ISSN: 2333-9721
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金属学报  1996 

基材温度对离子镀TiN膜性能的影响

, PP. 1270-1274

Keywords: TiN膜,离子镀,基材温度

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Abstract:

利用空心阴极离子镀膜设备制备了不同基材加热温度(150,250,350和450℃)的TiN膜.对其硬度和耐磨性的检测结果表明,随着基材温度的升高,HV呈缓慢上升趋势;耐磨性基本一致.同时,通过X射线衍射及扫描电子显微镜的观察,探讨了基材温度对其性能及组织形貌的影响.

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