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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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用DC-PCVD装置对钢沉积Si_3N_4薄膜
, PP. 320-324
Keywords: 钢,Si_3N_4薄膜,直流等离子化学气相沉积
Abstract:
控制工艺参数，用直流等离于化学气相沉积（DCPCVD）装置，对碳钢、合金结构钢、高速钢等沉积Si3N4非晶态薄膜，并研究了薄膜的成分、结构、形貌及硬度
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