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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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用双面氧化弯曲方法测定Al2O3膜生长应力
, PP. 618-622
Keywords: 生长应力,弯曲法,蠕变,氧化,氧化铝膜
Abstract:
提出了一种测定氧化膜生长应力的双面氧化弯曲方法,经不象常规弯曲法那样为防止试样一个侧在发生氧化度制保护除层,因而可用于较高温度及较长时间的氧化情况并可测定Ａｌ２Ｏ３膜的生长应力,由于高温下合金及薄氧化膜发生蠕变,从而释放膜内应力.新方法应用于合金的蠕变数据,并采用数值计算来获得氧化膜应力值.
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