%0 Journal Article %T 用双面氧化弯曲方法测定Al2O3膜生长应力 %A 李美栓 %A 钱余海 %A 辛丽 %A 周龙江 %J 金属学报 %P 618-622 %D 1999 %X 提出了一种测定氧化膜生长应力的双面氧化弯曲方法,经不象常规弯曲法那样为防止试样一个侧在发生氧化度制保护除层,因而可用于较高温度及较长时间的氧化情况并可测定Al2O3膜的生长应力,由于高温下合金及薄氧化膜发生蠕变,从而释放膜内应力.新方法应用于合金的蠕变数据,并采用数值计算来获得氧化膜应力值. %K 生长应力 %K 弯曲法 %K 蠕变 %K 氧化 %K 氧化铝膜 %U http://www.ams.org.cn/CN/Y1999/V35/I6/618