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ISSN: 2333-9721
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溅射参量对SiC涂层Ti--6Al--4V显微组织的影响

, PP. 359-362

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Abstract:

利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积Ti--6Al--4V涂层制备成先驱丝.在功率密度一定时,沉积速率和工作气压有关.环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大.涂层成分接近Ti--6Al--4V,沿涂层厚度方向成分分布均匀.涂层中柱晶晶粒尺寸为20---50nm,为α--Ti固溶体.

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