%0 Journal Article %T 溅射参量对SiC涂层Ti--6Al--4V显微组织的影响 %A 王玉敏 %A 符跃春 %A 石南林 %A 张德志 %A 杨锐 %J 金属学报 %P 359-362 %D 2004 %X 利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积Ti--6Al--4V涂层制备成先驱丝.在功率密度一定时,沉积速率和工作气压有关.环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大.涂层成分接近Ti--6Al--4V,沿涂层厚度方向成分分布均匀.涂层中柱晶晶粒尺寸为20---50nm,为α--Ti固溶体. %K 钛基复合材料 %K 磁控溅射 %K SiC纤维 %U http://www.ams.org.cn/CN/Y2004/V40/I4/359