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ISSN: 2333-9721
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脉冲高能量密度等离子体表面改性AlN膜的形成和结构
, PP. 652-656
Keywords: 脉冲高能量密度等离子体,立方AlN,六方AlN
Abstract:
利用脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)表面改性技术,在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜.采用XRD,XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构.研究表明,改性膜是由10nm尺寸的AlN相组成,AlN相结构随基体的结构而异,在具有面心立方结构的基体上,形成具有面心立方结构的c-AlN相,而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相.从热力学角度,讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性.
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