%0 Journal Article
%T 脉冲高能量密度等离子体表面改性AlN膜的形成和结构
%A 吴杏芳
%A 韦鲲
%A 单小鸥
%A 杨思泽
%J 金属学报
%P 652-656
%D 2002
%X 利用脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)表面改性技术,在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜.采用XRD,XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构.研究表明,改性膜是由10nm尺寸的AlN相组成,AlN相结构随基体的结构而异,在具有面心立方结构的基体上,形成具有面心立方结构的c-AlN相,而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相.从热力学角度,讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性.
%K 脉冲高能量密度等离子体
%K 立方AlN
%K 六方AlN
%U http://www.ams.org.cn/CN/Y2002/V38/I6/652