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ISSN: 2333-9721
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SiC长纤维表面(Al+Al2O3)复合涂层的制备
DOI: 10.3724/SP.J.1037.2010.00714, PP. 497-501
Keywords: SiC纤维,反应磁控溅射,扩散阻挡层,复合涂层,残余应力
Abstract:
利用反应磁控溅射法在SiC长纤维表面沉积了(Al+Al2O3)扩散阻挡涂层,研究了沉积工艺参数对涂层的成分、沉积速率的影响,以及涂层对SiC纤维的表面残余应力及力学性能的影响.结果表明,随着溅射功率的增加,Al2O3涂层的沉积速率先迅速增加后缓慢增加;随着工作气压的增加,Al2O3涂层的沉积速率先缓慢降低,在工作气压到达一定值时,沉积速率快速下降随后缓慢下降.沉积的(Al+Al2O3)复合涂层保护了SiC纤维的富C层,起到了保证纤维与Al2O3涂层之间结合力的作用;激光Raman谱显示改性后纤维的表面残余应力有降低趋势.室温和高温处理后复合丝的拉伸强度分别是计算值的97.69%和98.77%,涂层对纤维的力学性能影响很小.
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