%0 Journal Article %T SiC长纤维表面(Al+Al2O3)复合涂层的制备 %A 张露 %A 石南林 %A 宫骏 %A 裴志亮 %A 高立军 %A 孙超 %J 金属学报 %P 497-501 %D 2011 %R 10.3724/SP.J.1037.2010.00714 %X 利用反应磁控溅射法在SiC长纤维表面沉积了(Al+Al2O3)扩散阻挡涂层,研究了沉积工艺参数对涂层的成分、沉积速率的影响,以及涂层对SiC纤维的表面残余应力及力学性能的影响.结果表明,随着溅射功率的增加,Al2O3涂层的沉积速率先迅速增加后缓慢增加;随着工作气压的增加,Al2O3涂层的沉积速率先缓慢降低,在工作气压到达一定值时,沉积速率快速下降随后缓慢下降.沉积的(Al+Al2O3)复合涂层保护了SiC纤维的富C层,起到了保证纤维与Al2O3涂层之间结合力的作用;激光Raman谱显示改性后纤维的表面残余应力有降低趋势.室温和高温处理后复合丝的拉伸强度分别是计算值的97.69%和98.77%,涂层对纤维的力学性能影响很小. %K SiC纤维 %K 反应磁控溅射 %K 扩散阻挡层 %K 复合涂层 %K 残余应力 %U http://www.ams.org.cn/CN/Y2011/V47/I4/497