MEMS多层悬梁微执行器的电-热分析模型研究

在约定的工作条件下,列出了MEMS多层悬梁微执行器热传递方程和初始条件、边界条件,并得到解析解,建立了电-热分析模型.利用Matlab软件包和ANSYS软件包分别进行解析解分析和三维有限元分析,并进行比较.结果表明在500K附近静态/稳态工作时,对于材料层厚度di