%0 Journal Article
%T MEMS多层悬梁微执行器的电-热分析模型研究
%A 蒋剑良
%J 北京理工大学学报
%D 2005
%X 在约定的工作条件下,列出了MEMS多层悬梁微执行器热传递方程和初始条件、边界条件,并得到解析解,建立了电-热分析模型.利用Matlab软件包和ANSYS软件包分别进行解析解分析和三维有限元分析,并进行比较.结果表明在500K附近静态/稳态工作时,对于材料层厚度di<bL,i=1,2,3,得到温度分布沿长度方向不一致,沿宽度方向一致.解析模型与有限元分析的误差可以小于5%,说明多层悬梁微执行器二维电-热解析模型是有效的.
%K 微机电系统
%K 多层悬梁微执行器
%K 解析模型
%K 电-热分析
%U http://journal.bit.edu.cn/zr/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20050611&flag=1